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反轉布局合理 | 8軸/8片(※及時拖動功能分區成功雙層電鍍) |
拆遷賠償(含防護營養)[mm] | W4,000×D5,800×H2,637mm |
參量[kg] | 4,685kg |
改裝排氣管網絡體系 | 22 inchCP×1、MBP、DRP×1、冷阱 |
柔性板預熱 | 熱處理絲 350℃ or 鹵化燈150℃ |
電商槍 | 180° or 270°方向上型 |
鋁離子源 | 柵網設計RF陽離子源 ISG-130 |
紫水晶膜厚監管儀 | 六點晶控+ CO?T LEADERⅡ+好監測系統點 |
配搭 | 朋分傘架、光控APEX(380~2000nm) |